等离子体刻蚀工艺及设备-T 工业技术-安徽瀚文图书有限责任公司

等离子体刻蚀工艺及设备

ISBN：9787121450181

价格：98

副题名：

分辑号：

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主要著作者：赵晋荣主编

发行地：北京

出版社：电子工业出版社

出版日期：2023.02

页码：180页

开本：26cm

丛书项：集成电路系列丛书

一般性附注：

读者对象：本书对从事等离子体刻蚀基础研究和集成电路工厂产品刻蚀工艺调试的人员均有一定的参考价值

主题词：等离子刻蚀

中图法分类：TN305.7

装帧：

版次：

图表：

语种：chi

本书以集成电路领域中的等离子体刻蚀为切入点，介绍了等离子体基础知识、基于等离子体的刻蚀技术、等离子体刻蚀设备及其在集成电路中的应用。全书共8章，内容包括集成电路简介、等离子体基本原理、集成电路制造中的等离子体刻蚀工艺、集成电路封装中的等离子体刻蚀工艺、等离子体刻蚀机、等离子体测试和表征、等离子体仿真、颗粒控制和量产。

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